A valve equipped with a position detector and a micropump incorporating said valve

Soupape equipee d'un detecteur de position et micropompe integree a ladite soupape

Ventil mit positionsdetektor und damit versehener mikropumpe

Abstract

A valve is formed from a silicon wafer (20). A position detector having a first electrical contact (54) formed on a glass support (32) mounted on the back face of the wafer (20), a second electrical contact fixed to the wafer (20) and a electrical impedance measurement circuit (resistance or capacitance according to the embodiment) between the two electrical contacts is provided to detect by contact the position of the valve and hence reveal any malfunction. Useful in micropump for the injection of medicaments.
On réalise une soupape à partir d'une tranche de silicium (20). L'invention décrit un détecteur de position comportant un premier contact électrique (54) situé sur un support de verre (32) monté sur la face arrière de la tranche (20), un deuxième contact électrique fixé sur la tranche (20) et un circuit de mesure d'impédance électrique (résistance ou capacitance en fonction de l'aspect de l'invention) situé entre les deux contacts électriques pour détecter par contact la position de la soupape et, de ce fait, révéler un mauvais fonctionnement éventuel. Ce dispositif est efficace pour les micropompes servant à l'injection de médicaments.

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