Vehicle for transporting a semiconductor device carrier to a semiconductor processing tool

Fahrzeug zum transport eines halbleiterbauelementträgers zu einem halbleiterverarbeitungswerkzeug

Vehicule de transport transportant un dispositif porteur de semi-conducteur vers un outil de traitement de semi-conducteurs

Abstract

A vehicle for transporting semiconductor devices is provided, that allows to serve the loadports (2) of semiconductor processing tools (1) with device carriers (5) like a portal hoist (4) from the top. Thereby, the vehicle comprises an empty inner space (10) and an open front side, such that the loadport (2) is enclosed by the vehicle, when it approaches and docks to the loadport (2). Time for loading is shortened, complexity of structure and procedure is reduced and cleanroom space is saved.
L'invention porte sur un vehicle de transport de semi-conducteurs permettant de désservir les ports de chargement (2) des outils (1) de traitement de semi-conducteurs à l'aide de porteurs de dispositifs (5) à partir du haut, comme avec un palan (4) sur portique. A cette fin le vehicle comprend un espace intérieur vide (10) et un côté frontal ouvert tels que le port de chargement (2) soit entouré par le véhicule quand ce dernier s'approche du port de chargement (2) et s'y arrime. Ainsi, le temps de chargement est raccourci, la complexité de la structure et de la procédure est réduite, et de l'espace en chambre dépoussiérée est économisé.

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