半導体装置及びそのテスト方法

Semiconductor device and test method

Abstract

【課題】データ入出力端子のピン容量を正確に測定する。 【解決手段】データ入出力端子35を駆動する出力バッファOB1を非活性化させた状態で、データ入出力端子35に電源VDDQにより動作するテストバッファINViを接続する。次に、テストバッファINViにテスト信号iAddnを入力した場合にデータ入出力端子35から出力されるテストデータDQaiの波形と、電源VDDQの消費電流とを評価することにより、データ入出力端子35のピン容量を算出する。本発明によれば、出力バッファOB1とは別のテストバッファINViを用いていることから、出力バッファOB1を制御するバッファ回路BFによる消費電流の影響を受けることなく、データ入出力端子35のピン容量を正確に測定することができる。 【選択図】図11
PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately measure the pin capacity of a data input/output terminal.SOLUTION: A test buffer INVi that operates by a power supply VDDQ is connected to a data input/output terminal 35 in a state where an output buffer OB1 for driving the data input/output terminal 35 is deactivated. Then, the waveform of test data DQai, which is output from the data input/output terminal 35 when a test signal iAddn is input to the test buffer INVi, and the consumption current of the power supply VDDQ are evaluated, thereby calculating the pin capacity of the data input/output terminal 35. According to this invention, since the test buffer INVi different from the output buffer OB1 is used, the pin capacity of the data input/output terminal 35 can be accurately measured without being affected by the consumption current of a buffer circuit BF that controls the output buffer OB1.

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    CN-105277814-AJanuary 27, 2016致茂电子(苏州)有限公司Test method and automatic test equipment using the test method