Magnetic field deflection measuring apparatus and magnetic field deflection measuring method

磁場偏差測定器及び磁場偏差測定方法

Abstract

【課題】磁場偏差の測定精度を向上させる。【解決手段】磁場を検出する磁気検出部10と、磁気検出部10の位置を移動させる移動部20と、移動部20によって移動された複数の位置において磁気検出部10が検出した複数の磁場に基づいて磁場偏差を算出する算出部40と、を備える。上記の磁気検出部10は、例えば、それぞれ異なる3方向の検出軸を有する複数の磁気センサを有する。また、上記の移動部20は、所定の回転軸を中心に回転することで、当該回転軸を公転軸として磁気検出部10を公転させ、算出部は、公転軸と磁気検出部10との距離を半径とする円周上の複数の位置において磁気検出部10が検出した複数の磁場に基づいて磁場偏差を算出する。【選択図】図1
【課題】磁場偏差の測定精度を向上させる。 【解決手段】磁場を検出する磁気検出部10と、磁気検出部10の位置を移動させる移動部20と、移動部20によって移動された複数の位置において磁気検出部10が検出した複数の磁場に基づいて磁場偏差を算出する算出部40と、を備える。上記の磁気検出部10は、例えば、それぞれ異なる3方向の検出軸を有する複数の磁気センサを有する。また、上記の移動部20は、所定の回転軸を中心に回転することで、当該回転軸を公転軸として磁気検出部10を公転させ、算出部は、公転軸と磁気検出部10との距離を半径とする円周上の複数の位置において磁気検出部10が検出した複数の磁場に基づいて磁場偏差を算出する。 【選択図】図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the accuracy of measurement of magnetic field deflection.SOLUTION: A magnetic field deflection measuring apparatus comprises: a magnetic detection unit 10 detecting a magnetic field; a moving unit 20 moving the position of the magnetic detection unit 10; and a calculation unit 40 calculating a magnetic field deflection on the basis of a plurality of magnetic fields detected by the magnetic detection unit 10 at a plurality of positions moved by the moving unit 20. The magnetic detection unit 10 has, for example, a plurality of magnetic sensors having detection axes in three directions different from each other. The moving unit 20 rotates about a predetermined rotation axis to thereby revolve the magnetic detection unit 10 about the rotation axis as a revolution axis. The calculation unit calculates a magnetic field deflection on the basis of the plurality of magnetic fields detected by the magnetic detection unit 10 at a plurality of positions on a circumference having as a radius a distance between the revolution axis and the magnetic detection unit 10.

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