欠陥修正方法および欠陥修正装置

Defect correction method and defect correction device

Abstract

【課題】電極の膜厚が厚く、電極の幅および間隔が狭い場合でも、短時間で安定した修正が可能な欠陥修正方法を提供する。【解決手段】この欠陥修正方法では、塗布径が電極51の幅よりも大きな塗布針1を使用して電極51a,51bの断線欠陥部52側の端部の各々に修正液53を塗布し、塗布径が電極51の幅と略同じ塗布針2を使用して電極51a,51bの端部間に修正液53を塗布する。電極51aの端(A部)における修正液53の幅Waと、電極51bの端(B部)における修正液53の幅Wbと、電極51の幅Wとを略同じにできる。【選択図】図5
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect correction method in which, even when film thickness of an electrode is thick and width of the electrode and a space between electrodes are narrow can be stably corrected in a short time.SOLUTION: In this defect correction method, correction liquid 53 is coated at respective ends on disconnection defect part 52 side of electrodes 51a, 51b by using a coating needle 1 whose coating diameter is larger than the width of an electrode 51, and the correction liquid 53 is coated between the ends of the electrodes 51a, 51b by using a coating needle 2 whose coating diameter is the almost same as the width of the electrode 51. A width Wa of the correction liquid 53 at the end (A part) of the electrode 51a, a width Wb of the correction liquid 53 at the end (B part) of the electrode 51b, and a width W of the electrode 51 can be made to have the almost same width.
【課題】電極の膜厚が厚く、電極の幅および間隔が狭い場合でも、短時間で安定した修正が可能な欠陥修正方法を提供する。 【解決手段】この欠陥修正方法では、塗布径が電極51の幅よりも大きな塗布針1を使用して電極51a,51bの断線欠陥部52側の端部の各々に修正液53を塗布し、塗布径が電極51の幅と略同じ塗布針2を使用して電極51a,51bの端部間に修正液53を塗布する。電極51aの端(A部)における修正液53の幅Waと、電極51bの端(B部)における修正液53の幅Wbと、電極51の幅Wとを略同じにできる。 【選択図】図5

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